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台 灣 儀
器科 研究
技中
心
此系統於晶圓階段即可測試氣體感
測器(感測晶片)效能，且可同時
測試多顆，不但大幅縮短檢測時 改善製程，提高生產效能與品質。 間，且可提早於封裝前即查知每顆
世界首創「晶圓級氣體感測器高效能 點測系統」
邁向智慧環境 AIoT 利器
晶片的品質與分級，減少封裝資源 浪費 另外亦可回饋測試結果，據以
儀科中心世界首創「晶圓級氣體感測器高效能點測系統」
研發與服務成果
2019 Annual Report
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TIRI
