Page 1 - 产品手册product manuals-PVD
P. 1
产品手册 PRODUCT MANUALS
全自动单室 PVD 系统
◼ 产品简介 PRODUCT ROFILE
JSP6，JSP8 系列是全自动单室物理气相沉积(PVD)系统，采用磁
控溅射技术，可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，设备
进片室包含一个可容纳 10 片 6 寸或 8 寸工件的片盒，和一个标准 18
寸前开门沉积室，全自动工艺运行系统，可满足科研和小批量生产的
需要。
◼ 应用领域 MARKET APPLICATION
本产品可应用于光伏、半导体、光学等行业。
光伏 半导体 光学
◼ 产品特点 PRODUCT FEATURES
工件自转 0-30rpm，可加热至 250℃；
可配 4 套 2~4 寸标准阴极靶；
可调角度，可调磁场平衡结构和磁场强度；
超高真空全金属密封阴极，可烘烤至 150℃；
结构紧凑，工艺稳定性高；
全自动工艺运行系统。
北京捷造光电技术有限公司 www.jiezaooe.com
