Page 2 - 产品手册product manuals-PVD
P. 2

◼    技术参数 TECHNICAL PARAMETERS



























                                                                    集成片盒
                         项目
                                                                    PVD 系统

                       规格型号            JSP6SC/ JSP8SC


                                       片盒装片
                       工件装载
                                       真空机械手装载


                       工件尺寸            150/200 mm


                       加热温度            250°C


                       沉积间距            80-120mm


                       阴极尺寸            2/3/4 英寸


                       阴极数量            3-4 个


                       阴极特性            超高真空机构，角度可调，可调磁场平衡机构和强磁场结构


                       真空系统            分子泵系统


                       软件特性            多层沉积薄膜工艺控制系统

                       系统控制            触摸屏/工控机




                         北京捷造光电技术有限公司                                                                www.jiezaooe.com
   1   2   3