Page 29 - produk skripsi fitriyani

Video 1.4. sistem kerja dari SEM
Sumber: www.youtube.com , 2021

Mikroskop pemindai elektron dilengkapi dengan katode serta lensa dan fokus
magnetik untuk membuat sebuah balok dari elektron. Cara terbentuknya gambar pada
SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada mikroskop optik dan TEM. Pada SEM,
E
gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron sekunder) atau elektron
pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika permukaan sampel tersebut dipindai n
dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron pantul yang terdeteksi g
selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam
gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (tabung sinar katode). Di layar CRT inilah i
gambar struktur objek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses operasinya, SEM n
tidak memerlukan sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat objek
dari sudut pandang tiga dimensi. e

Dalam SEM modern, pemetaan elektron sekunder dicatat dalam bentuk digital, tapi e
SEM yang telah dikembangkan dari awal 1960 jauh sebelum penyebaran penyimpanan r
komputer berarti melalui proses analog yang terdiri, seperti yang ditunjukkan pada
gambar, untuk menyinkronkan pemindaian sinar tabung sinar katode dengan SEM, oleh i
modulasi intensitas tabung oleh sinyal sekunder. Gambar sampel kemudian muncul di n
layar fosfor dari tabung sinar katode dan dapat direkam pada film fotografi.
g
Sebuah mikroskop pemindai elektron pada dasarnya terdiri dari pistol elektron dan
kolom elektron, yang fungsinya adalah untuk menghasilkan probe elektron baik pada
sampel, tahap spesimen untuk memindahkan sampel di tiga arah dan sensor untuk
menangkap dan menganalisis radiasi yang dipancarkan oleh sampel. Selain itu
perangkat tentu harus dilengkapi dengan sistem pompa vakum.
Perbesaran dalam SEM dapat dikendalikan pada kisaran sekitar 6 kali lipat dari
sekitar 10 sampai 500,000 kali. Tidak seperti mikroskop elektron optik dan transmisi,
perbesaran gambar dalam SEM bukanlah merupakan fungsi dari kekuatan lensa
objektif. SEM mungkin memiliki kondensor dan lensa objektif, tetapi fungsi mereka

24