Page 9 - nano e-book_Neat
P. 9
เครื่องมือในกำรสร้ำงโครงสร้ำงนำโน
Scanning probe Instruments
เครื่องสแกนนาโนนอกจากจะใช้ปรับแต่งโมเลกุลแล้ว ยังใช้สร้างภาพหรือตัวอักษาร
ขนาดจิ๋วได้โดยการเรียงอะตอมบนพื้นผิวที่มีโครงสร้างเฉพาะเจาะจง โครงสร้างที่ถูกสร้างขึ้น
เหล่านี้สามารถแสดงคุณสมบัติหรือใช้เป็นเครื่องทดสอบหลักการพื้นฐานทางวิทยฯ
Nanoscale Lithography
ค าว่าlithographyความหมายดั้งเดิมหมายถึงการสร้างวัตถุจากหิน ส่วน lithograph
คือ ภาพพิมพ์หิน ได้แก่ การแกะสลักภาพที่ต้องการลงบนหิน ลงหมึกบนหินแล้วพิมพ์ประทับ
ลงบนกระดาษหรือวัสดุที่ต้องการ
หลักการดังกล่าวถูกน าไปใช้ในเทคนิค lithography ขนาดจิ๋วหลายแบบ เช่น วิธีการ
สร้างชิปคอมฯโดยทั่วไปมักใช้ optical หรือ X-ray lithography โดยการสร้างหน้ากากต้นแบบ
ด้วยวิธีการทางเคมีและฉายแสงผ่านหน้ากากเพื่อสร้างโครงสร้างของชิป
Dip Pen Nanolithography
DPN พัฒนาขึ้นโดย Chad Mirkin และคณะจากมหาวิทยาลัยนอร์ทเวสเทิร์น DPN มี
ข้อดีหลายปะการ แต่ที่ส าคัญสุดคือสามารถใช้อะตอมได้เกือบทุกชนิดเป็นหมึก และสามารถ
เขียนลงบนพื้นผิวแทบทุกชนิด นอกจากนี้ยังสามารถสร้างโครงสร้างที่มีความซับซ้อน เพราะ
ปลายของเครื่อง AFM สามารถควบคุมได้ง่าย แต่ข้อเสียคือ ท าได้ช้าและใช้เวลามากกว่าแบบ
ตรายางประทับ
E-Beam Lithography
ปัจจุบันมีการใช้ E-Bram Lithography ในการผลิด micro electronics ซึ่งเป็นวิธีการ
หนึ่งที่จะสานต่อความก้าวหน้าตามกฎของมัวร์ต่อไป จนกระทั่งระดับที่ขนาดมีอิทธิพลต่อการ
เปลี่ยนแปลงคุณสมบัติของวัตถุอย่างแท้จริง
[6] นำโนเทคโนโลยี : เครื่องมือในการสร้างโครงสร้างนาโน
