Page 313 - BUKU 1. PPR INDUSTRI TK. 1
P. 313
Gambar IV.4 . MBE kategori II
Akselerator dapat dibedakan berdasarkan pada tingkat energi, jenis
pembangkit tegangan tinggi DC power supply dan sistem penyambung kabel
tegangan tinggi dengan unit proses elektron.
Pada umumnya komponen utama akselerator terdiri dari pembangkit
tegangan tinggi, Sumber elektron, Pemfokus berkas elektron, Pengarah
berkas elektron, Tabung akselerator, Sistem pemayaran, Sistem vakum,
Sistem Pengendali, Sistem Konveyor, Sistem Keselamatan
▪ Pembangkit Tegangan Tinggi: Transformator; Cockcroft-Walton,
Dynamitron (RF)
▪ Sumber elektron: Sumber titik ( filamen dengan bentuk spiral atau U),
sumber garis lurus (filamen berbentuk helical spiral).
▪ Sistem Vakum: ruang vakum, pompa vakum, katup (Valve), dan alat ukur
vakum, tingkat kevakuman yang diperlukan untuk beroperasinya MBE
-6
yaitu 2 x 10 torr mempunyai pengaruh semakin baik terhadap
beberapa parameter operasi.
▪ Pemfokus berkas elektron.
PR terhadap Paparan Kerja Industri Tk 1, DPK – BRIN, 2023 | 43
