Page 28 - e-modul_fitriyani

Gambar1.18. Diagram SEM
Sumber : https://www.nanoscience.com/news/ , 2021
E
n

g
i

n
e
e

r
i

n

Video 1.5. sistem kerja dari SEM g
Sumber: https://youtu.be/GY9lfO-tVfE , 2021
Mikroskop pemindai elektron dilengkapi dengan katode serta lensa dan fokus
magnetik untuk membuat sebuah balok dari elektron. Cara terbentuknya gambar pada
SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada mikroskop optik dan TEM. Pada SEM,
gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru (elektron sekunder) atau elektron
pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika permukaan sampel tersebut dipindai
dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron pantul yang terdeteksi
selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam
gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (tabung sinar katode). Di layar CRT inilah
gambar struktur objek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses operasinya, SEM
tidak memerlukan sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat objek
dari sudut pandang tiga dimensi.

23