Page 29 - e-modul_fitriyani
P. 29
Dalam SEM modern, pemetaan elektron sekunder dicatat dalam bentuk digital, tapi
SEM yang telah dikembangkan dari awal 1960 jauh sebelum penyebaran penyimpanan
komputer berarti melalui proses analog yang terdiri, seperti yang ditunjukkan pada
gambar, untuk menyinkronkan pemindaian sinar tabung sinar katode dengan SEM, oleh
modulasi intensitas tabung oleh sinyal sekunder. Gambar sampel kemudian muncul di
layar fosfor dari tabung sinar katode dan dapat direkam pada film fotografi.
Sebuah mikroskop pemindai elektron pada dasarnya terdiri dari pistol elektron dan
kolom elektron, yang fungsinya adalah untuk menghasilkan probe elektron baik pada
sampel, tahap spesimen untuk memindahkan sampel di tiga arah dan sensor untuk
menangkap dan menganalisis radiasi yang dipancarkan oleh sampel. Selain itu
perangkat tentu harus dilengkapi dengan sistem pompa vakum.
Perbesaran dalam SEM dapat dikendalikan pada kisaran sekitar 6 kali lipat dari
sekitar 10 sampai 500,000 kali. Tidak seperti mikroskop elektron optik dan transmisi,
perbesaran gambar dalam SEM bukanlah merupakan fungsi dari kekuatan lensa
objektif. SEM mungkin memiliki kondensor dan lensa objektif, tetapi fungsi mereka
adalah untuk memfokuskan sinar ke tempat, dan tidak pada gambar spesimen.
Asalkan pistol elektron dapat menghasilkan balok dengan diameter cukup kecil, SEM
bisa melakukan prinsip kerja yang sama sekali tanpa kondensor atau lensa objektif, T
meskipun mungkin sangat tidak serbaguna atau mencapai resolusi sangat tinggi. Dalam
SEM, seperti pada scanning probe microscopy, perbesaran dihasilkan dari rasio dimensi e
raster pada spesimen dan raster pada perangkat layar. Dengan asumsi bahwa tampilan c
layar memiliki ukuran tetap, perbesaran yang lebih tinggi dihasilkan dari mengurangi
ukuran raster pada spesimen, dan sebaliknya. Perbesaran karena itu dikendalikan oleh h
arus yang dipasok ke kumparan pemindai x, y, atau tegangan yang diberikan ke x, n
piring deflektor y, dan bukan dengan kekuatan lensa objektif. o
3.Alat destilasi air tawar l
o
g
y
Gambar 1.19. Alat destilasi air
Sumber: Van harling, v. N, jurnal , 2017
24