Page 43 - 2018镇江太阳能杂志
P. 43

PECVD






       高频次数降低项目




                                                           文 / 管 毅

                  1.立项背景



                       PECVD高频报警是PECVD工艺终止的主要报警，高频
                  出舟后的需要重新进炉管加镀，浪费时间影响产能，而

                  且加镀后也容易出批量不良，进一步影响产能和颜色质
                  量。我司PECVD作为瓶颈工序，PECVD的产能决定着我司

                  的出货；电池片的颜色也是客户对我们的重要指标。故
                  降低高频次数，提升我司产能和电池片颜色品质迫在眉

                  睫。





             44
   38   39   40   41   42   43   44   45   46   47   48