Page 45 - май

НОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Тлеющий разряд
Тлеющий разряд – самостоятельный электрический разряд в газе с холодными элек-
тродами при токах 10-5 - 1,0 А и низком давлении (5•10-2-103 Па), имеющий характер-
ную структуру в виде чередующихся светящихся участков различного цвета и различной
интенсивности свечения. Его отличительный признак – существование вблизи катода слоя
с большим положительным объёмным зарядом, сильным полем у поверхности и значитель-
ным падением потенциала 100 - 400 В и более. Тлеющий разряд получил своё название
из-за наличия на одном из электродов (катоде) так называемого тлеющего свечения.
Одним из применений тлеющего разряда являются технологии плазменной хими-
ко-термической обработки металлов, которые предназначены для повышения твёрдости,
износостойкости, усталостной прочности, задиростойкости, теплостойкости и коррозион-
ной стойкости за счёт насыщения поверхности обрабатываемых изделийазотом, углеро-
дом, бором, кадмием и несколькими элементами одновременно. При обработке изделия
погружаются в плазму тлеющего разряда, горящего между катодом (изделиями) и анодом
(стенками вакуумной камеры) и содержащего необходимый насыщающий элемент. Поло-
жительно заряжённые ионы насыщающего элемента под действием электрического поля
ускоряются по направлению к изделию, бомбардируют и внедряются в их поверхностный
слой. При этом энергия ионов в тысячи раз больше энергии атомов при газовой хими-
ко-термической обработке. Температура нагрева изделий при обработке составляет 300
- 600°С.
Наиболее востребован в мире
охлажденная процесс плазменного азотирования
вакуумная камера (азотирование в тлеющем разряде,
Аргон Т ионно-плазменное азотирование, рис.
Аммиак 3, 4). В качестве рабочих газов ис-
Блок
Пропан Р управления пользуются аммиак, аргон, пропан,
Воздух природный газ и др. Регулирование
и управление технологическим про-
U.I цессом полностьюавтоматизировано и
источник осуществляется по заданной техноло-
плазмы гической программе. В водоохлажда-

емой камере смонтировано смотровое
насос окно для визуального наблюдения за
(разр. до
0,2 мбар) тлеющий анод процессом.
разряд Отличительными характеристи-
катод
ками данного процесса по сравнению
Рис. 3. Схема плазменного азотирования. с газовой химико-термической обра-
боткой являются:

Станочный парк 45