Page 63 - 2018镇江太阳能杂志

电性能数据可以看出三峰添加剂ISC平均较

飞鹿高约10mA,这与三峰添加剂产出的硅片反射
率低吻合；在VOC及FF方面飞鹿添加剂优于三峰
添加剂，根据前面的分析较小的绒面虽带来高

的ISC，但因绒面较小，钝化效果变差导致三峰

添加剂的VOC及FF均低于飞鹿，最终导致ETA（
电池转换效率）低于飞鹿；飞鹿添加剂五次实
验平均ETA比三峰高约0.05%。通过绒面优化实

现效率提升0.05%，并在7月份陆续导入产线。
图4 不同添加剂混片实验电性能数据对比

二、减反膜结构优化 表1 工艺参数对比
减反膜是具有一定厚度及一定折射率的

氮化硅薄膜，通过PECVD的方式沉积在硅片
表面，一方面用来钝化表面悬挂键及体内缺

陷降低复合、一方面增加对太阳光谱的吸收
在该工艺参数下生产的实验硅片反射率较产线工
利用，对减反膜的优化也一直围绕这两方面
艺生产的硅片低0.65%，实测结果与实验设计预期一
开展。
致。
目前我司氮化硅沉积为双层膜工艺；底
层沉积一层高折射率的氮化硅实现较好的钝
化，上层为低折射率氮化硅增加光的吸收； 表2 不同工艺反射率对比

为了提高对光的吸收需要降低上层折射率、
为了改善钝化需要提高底层折射率；同时为

了保证膜厚折射率在一定范围内及工艺时间
不显著增加，设计如下表的实验工艺参数，

通过提高底层硅烷比例提高底层折射率改善
钝化、通过增加上层氨气比例降低上层折射

率提高对光谱的吸收：
三次混片实验（见图5）ISC分别提升

8.2mA~15.9mA、VOC提高0.2~1 mV、FF提升
0~0.04、效率提升0.037%~0.057%。实验工

艺反射率的降低在电性能数据上体现出了
ISC的提升、同时底层折射率的提高对VOC及

FF均有一定的改善作用，实验工艺在8月陆
续导入产线。 图5 混片实验电性能数据对比

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