Page 19 - เอกสารประกอบการเรียน หน่วยที่ 1

วิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีกับคุณภาพชีวิต

ภาพที่ 1.8 วิธีการ Electron Beam Lithography

ที่มา : http://www.il.mahidol.ac.th/e-media/nano/Page/Unit4-1.html

จากภาพที่ 1.8 หลักการท างานจะใช้คอมพิวเตอร์ในการควบคุมการปล่อยล า

กระสุนอิเล็กตรอน (โดยต้องให้แคบลงในระดับนาโนเมตร) ลงสู่พื้นผิวของวัตถุ ซึ่งเป็นพื้นผิวที่ถูก
เคลือบด้วยฟิล์มบางตามแบบแผนที่ได้ออกแบบไว้ (อาจจะเป็นพื้นผิวของพอลิเมอร์) ท าให้เกิด

ร่องรอยการเปลี่ยนแปลงบนพื้นผิวที่ได้เคลือบไว้ จากนั้นก็ท าการระเหยอนุภาคที่ต้องการเพื่อเคลือบ

และใช้เป็นโครงสร้างนาโน จากนั้นก็จะน าทั้งส่วนที่ระเหยไปเคลือบและส่วนที่เคลือบด้วยฟิล์มบาง

ออก สุดท้ายก็จะได้โครงสร้างนาโนตามแบบที่ได้ก าหนดไว้โดยล าอนุภาคอิเล็กตรอน ซึ่งการสร้าง

โครงสร้างนาโนที่เกิดขึ้นนี้จะมีความแม่นย าสูงและวิธีการนี้สามารถน าไปใช้ได้กับหลากหลาย
พื้นผิววัสดุอีกด้วย [8] เช่น การสร้างโครงสร้างนาโน Split-ring resonator ของทองค า ตามภาพ

ที่ 1.9 ก็ใช้วิธีการ Electron Beam Lithography

ภาพที่ 1.9 โครงสร้างนาโน Split-ring resonator ของทองค า

ที่มา : http://www.il.mahidol.ac.th/e-media/nano/Page/Unit4-1.html

19