Page 18 - เอกสารประกอบการเรียน หน่วยที่ 1

วิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีกับคุณภาพชีวิต

ด้วยปากกาหมึกซึม) วิธีการนี้จ าเป็นที่จะต้องใช้ปากกาที่มีขนาดระดับนาโน ดังนั้นจึงต้องใช้ปลาย
แหลมของเครื่อง AFM เป็นเสมือนปากกาเขียนและเป็นที่เก็บน ้าหมึก (ซึ่งก็คืออะตอมหรือโมเลกุล)

เมื่อใช้ปลายแหลมลากผ่านพื้นผิวของวัตถุ ก็จะเกิดร่องรอยของแนวเส้นหรือแถวของอะตอมที่ใช้

เป็นน ้าหมึกบนพื้นผิวของวัตถุ ดังภาพที่ 1.7 ท าให้เกิดเป็นโครงสร้างระดับนาโนได้ (หรืออาจจะ
เรียกได้ว่าเป็นเครื่องมือแบบ scanning probe lithography)

ภาพที่ 1.7 วิธีการ dip-pen nanolithography

ที่มา : http://www.il.mahidol.ac.th/e-media/nano/Page/Unit4-1.html

วิธีการ Electron Beam Lithography (EBL) ดังแสดงตามภาพที่ 1.8 เป็นอีก

วิธีการหนึ่งของนาโนลิโทกราฟี ซึ่งเป็นวิธีการสร้างโครงสร้างระดับนาโนโดยการใช้ล าอนุภาค

อิเล็กตรอนจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน เพื่อสร้างแบบแผนเฉพาะของโครงสร้างอย่างละเอียด

บนพื้นผิววัตถุตั้งต้น ซึ่งวิธีการนี้ถูกน ามาใช้มากในอุตสาหกรรมการสร้างแผงวงจรไฟฟ้ าในปัจจุบัน

18