Page 33 - февраль
P. 33
СОВЕТЫ СПЕЦИАЛИСТОВ
С учётом всех исходных требований, для включая многослойные, композитные и
нанесения покрытия на внутренние поверхно- наноструктурированные. В конструкции
сти были разработаны: распыляющие устрой- плазменных устройств использовались
ства магнетронного типа – цилиндрическая МРС редкоземельные постоянные магниты
(ЦМРС), магнетрон с коническим катодом (КМРС), типа N 38. Отработка конструкции тех-
цилиндрический вакуумно-дуговой испаритель. нологических устройств производилась
Для предварительной ионной обработки с использованием модельных катодов
поверхности и ионного ассистирования были из стали 12Х18N10Т.
разработаны: МРС инверсного типа (ИнвМРС), Для решения актуальной задачи
ускоритель газовых ионов с замкнутым дрейфом замены гальванического хромирования
электронов. Технология обработки деталей раз- ионно-плазменной технологией нане-
личного типа предусматривала использование сения использовались литые хромовые
интегрированных технологических устройств, катоды и трубчатые композитные като-
включающих разработанные индивидуаль- ды.
ные плазменные технологические устройства Рассмотрим типичные примеры ис-
в различных сочетаниях. Рассматривалась воз- пользования разработанных устройств
можность обеспечения технологий нанесения для обработки внутренних рабочих по-
покрытий различного состава и назначения, верхностей различных типов.
Рис. 1. Конструктивная схема плазменного технологического устройства для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность малого
диаметра. 1 – ЦМРС, 2 – ИнвМРС, 3 – трубчатый катод ЦМРС, 4 – магнитная система ИнвМРС, 5 – обрабатываемая деталь, 6 – область
разряда ИнвМРС, 7 – анод ИнвМРС, 8 – магнитная система ЦМРС, 9 – разряд ЦМРС.
Станочный парк 33
