Page 35 - февраль
P. 35
СОВЕТЫ СПЕЦИАЛИСТОВ
особенности ионно-лучев обработки и нанесения покрытий
в)
Рис. 2. Интегрированные магнетронные технологические устройства на основе конического магнетрона (КМРС): а) КМРС + ВДИ, б)
КМРС + АИИ, в) КМРС + КМРС. 1 – катод; 2 – постоянные магниты; 3, 4 – магнитные полюса; 5 – анод; 6 – подвод воды; 7 – токопод-
вод; 8 – деталь.
Предполагалось, что при при расстоянии между катодом ЦМРС и подложкой поряд-
ка 8 мм конденсация покрытия происходит в условиях энергетического взаимодействия с
областью разряда, что эквивалентно условиям ионного ассистирования. Микротвёрдость
полученного хромового покрытия составила HV200 = 12 ГПа, что выше микротвёрдости
«твёрдого» гальванического хрома. Шероховатость покрытия не отличалась от исходной
шероховатости подложки Ra 0.25÷0.4 мкм. Это позволило исключить финишную механи-
ческую обработку покрытия и тем самым способствовало сохранению показателя усталост-
ной долговечности детали с покрытием. Длительные испытания детали в течение 150000
рабочих циклов подтвердили её высокие ресурсные показатели.
Для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность гидроцилиндра непроходно-
го типа (с донышком), выполненного из неферромагнитного материала, была разработа-
на конструкция магнетрона с конической распыляемой поверхностью катода. Коническая
форма поверхности катода позволила разместить на его малом торце анод магнетронного
Станочный парк 35
